［フレームワークソフト］ 　　 ＜対象とするMEMSデバイス例＞ 　　○解析モデル例 ＜デバイス構造作成機能＞ 　　○デバイス構造のモデル化例 　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ＜自動格子生成機能＞ 　　○静電場の境界要素モデル化例 　　　　　 　　○薄膜・流体の有限要素モデル化例 　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ＜解析結果の表示機能＞ 　　○解析結果の表示例（１） 　　　 　　○解析結果の表示例（２） 　　　　　　 　　　○解析結果の表示例（３）