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 マイクロマシンセンターや技術研究組合が作成してきた知識情報、デザイン支援ツール等、様々なオープンコンテンツを包括した「百科事典」をMEMSPedia として、インターネットを通じて公開しています。
 今後もMEMSPedia の拡充を図り、マイクロナノ分野の先端研究の遂行や産業発展に資するべく普及活動を推進していきます。
 
BEANS知識データベース

 我が国の産学総力を結集して、MEMS技術とナノテクノロジー、バイオテクノロジー等の異分野技術を融合させ、革新的次世代デバイスの創出に必要な基盤的プロセス技術群を開発し、次なるイノベーションのためのプラットフォームを確立することを目的として、「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発(BEANS:Bio Electromechanical Autonomous Nano System)プロジェクト」が平成20年度から平成24年度の5年間、経済産業省/NEDO委託・助成事業として実施されました。

 本知識データベースは、プロジェクトの研究開発に関わる新たな知見(文献情報、特許情報、及び研究成果)を、革新的MEMS開発を目指す企業研究者や技術者が容易に利用でき、新製品開発・実用化や新たな産業創造に資することを目的に開発されました。

 また、プロジェクト研究開発に関わる新たな知見は、「健康医療デバイス」、「安全安心快適デバイス」、「環境応用デバイス」の3つの応用分野、及び「プロセス・インテグレーション」、「機能・製作用要素」という2つの機能にカテゴリ分され、総数1,600件が収録されています。これらの収録された知識データは、カテゴリ、キーワード、全文での検索ができます。 
 
ファインMEMS知識データベース
 
 小型・省電力・高性能・高信頼性の高集積・複合MEMSデバイスを製造できる技術の確立を目的として、「高集積・複合MEMS製造技術開発(ファインMEMS)プロジェクト」が平成18年度から平成20年度の3年間、NEDO委託・助成事業として実施されました。
 
 本プロジェクトに参画した事業者(委託及び助成)の研究開発成果(研究データ、科学的知見、および文献情報)、再委託した大学の研究開発の成果、およびマイクロマシンセンターが国内外の学会等で収集した発表論文、技術文献等について、本プロジェクトの研究キーワードで分類した知識データ(1500件超)として体系的にデータベース化を行いました。
 
 また、本プロジェクトに関わる特許情報として、2000年以降の国内公開特許、米国登録特許、およびPCT公開特許を調査し、抽出した4500件超を本プロジェクトの研究開発項目で分類して、データベースに収録しました。さらに、特許出願件数の多いMEMS/半導体の一体形成技術およびMEMS/MEMSの高集積結合技術については、主要な企業、研究機関の出願動向をまとめた分析資料集を作成し、これらもデータベースに収録しました。
 
マイクロマシン・MEMS技術専門用語集
 
 マイクロマシン・MEMS技術分野における専門用語集で、マイクロマシンセンター標準化事業委員会が1998年に作成したものが基本になっています。その後、この専門用語集をベースに国際規格化を進め、2005年に【IEC62047-1】として発行されました。さらにJIS化にも取り組み、2008年には 【JIS C 5630-1】が発行されました。
 
 JIS発行に併行して、この専門用語集を2008年に改訂しました。現在、本専門用語集はMEMSペディア活動の一環としても位置づけられています。 収録する専門用語の数は258語。 英語版用語集も利用できます。
  
 
MEMS等価回路ジェネレータ
 ファインMEMSプロジェクトで開発された「MEMS等価回路ジェネレータ」は、MEMSと電気回路の集積化や多種類のMEMSの組合せによる集積化に関する研究開発が活発化し、製品に関する成功事例も出現する中、システム全体として電気等価回路を用いたアプローチなどの新しい設計手法としてご提案するものです。

 MEMSの設計は、構成する機械要素に主眼におき、機械設計の発想から数々の設計ツールが生み出されてきました。欧米主体で開発されたものが多数を占める中、昨年度わが国初のMEMS設計ツール MemsONE もその一つです。MEMSと電気回路や多種のMEMSの組合せなどはその集積度が増すにつれ、この新しい手法は効果を発揮すると考えております。

 ご利用いただく際には、まだまだ不十分で改善すべき点があるとのご認識の上、新しい設計手法として挑戦していただければ幸いです。

  MEMS等価回路ジェネレータ
 ご利用に当たって、ご質問やご意見のある方は
  MEMS等価回路ジェネレータ技術交流掲示板
 

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