技術交流会の開催事例

＝第４回東京MemsONE技術交流会の開催報告＝

　第４回東京「MemsONE技術交流会」を平成23年12月16日(金)に下記の通り開催致しました。当日の予稿集は「サポート情報－⑥セミナー等の講演概要版の掲載」ページでご覧ください。

＜開催概要＞

　◆開催日時：2011年12月16日(金) 14:00～17:20～懇親会（受付：13:30～）
　◆開催会場：一般財団法人マイクロマシンセンター　ＭＭＣテクノサロン（東京秋葉原）
　　　　　　　　　東京都千代田区神田佐久間河岸６７
　　　　　　　　　ＭＭＣテクノサロン
　◆参加対象：MemsONEユーザおよびMemsONEに興味をお持ちの方
　◆募集人数：25名（参加はお申し込み順とします）
　◆参加費用：講演・懇親会共無料
　◆お申込み：受付終了（12月9日で締め切りました、お申し込み有難う御座いました）
　◆主　　催：一般財団法人マイクロマシンセンター　MemsONEサポートセンター

＜プログラム＞

　◆主催者挨拶　（14:00-14:10）
　　　　　　一般財団法人マイクロマシンセンター　専務理事　青柳桂一
　◆基調講演　（14:10-15:10）
　　　講　演「集積化CMOS-MEMS技術とシミュレーションへの期待」
　　　　　　東京工業大学大学院総合理工学研究科物理電子システム創造専攻連携教授
　　　　　　NTTアドバンステクノロジ株式会社　工学博士　主幹担当部長　町田克之様
　◆事例紹介　（15:10-16:50）
　　　解析事例Ⅰ 「MemsONEによる面内および面外の２自由度駆動を実現する
　　　　　　　　　静電駆動アクチュエータのシミュレーション」
　　　　　　東京大学　生産技術研究所　藤田研究室　修士課程２年生　岡田利裕様
　　　解析事例Ⅱ 「マクロモデル抽出ツールを用いたMEMSデバイスの連成解析」
　　　　　　（株）数理システム　科学技術部　研究員　望月俊輔様
　◆休　憩　（16:10-16:20）
　　　解析事例Ⅲ 「新しい圧電素子のMemsONEによる設計と複合部材の熱応力の検討」
　　　　　　東京工芸大学　工学部コンピュータ応用学科　准教授　曽根順治様
　◆機能紹介　（16:50-17:20）
　　　　　　「MemsONEの特長とVer5.0の強化機能紹介および簡易デモ」
　　　　　　日本ユニシス・エクセリューションズ（株）システムマネージャ前田幸久様
　　　　　　（株）数理システム　科学技術部　研究員　望月俊輔様

　◆交流会・懇親会　（17:30-18:30）
　　　　　　場所：一般財団法人マイクロマシンセンター　会議室

＜講演要旨＞

　◆基調講演 （14:10-15:10）
　　「集積化CMOS-MEMS技術とシミュレーションへの期待」
　　　　　　東京工業大学大学院総合理工学研究科物理電子システム創造専攻連携教授
　　　　　　NTTアドバンステクノロジ株式会社　工学博士　主幹担当部長　町田克之様
　　　　集積化CMOS-MEMS技術とSPICEを用いたシミュレーションについて、その意義
　　　と実例を紹介する。

　◆事例紹介Ⅰ （15:10-15:40）
　　「MemsONEによる面内および面外の２自由度駆動を実現する
　　　静電アクチュエータのシミュレータ」
　　　　　　東京大学　生産技術研究所　藤田研究室　修士課程２年生　岡田利裕様
　　　　材料のリアルタイム観察を原子レベルで行うためのMEMSデバイスの改良に取り組
　　　んでいる。このMEMSデバイスは観察する材料を先端に付着させる針が向かい合って
　　　おり、静電アクチュエータで針を面内方向に駆動させることで、材料どうしを接触さ
　　　せ、材料に伸長、摩擦を与えるという一連の動作が透過電子顕微鏡内で可能となって
　　　いる。しかし、基板に垂直な方向に数十ナノメートルのずれが対向針の先端にあると、
　　　接触点が陰に隠れてしまい観察不能となる。このため現状ではMEMSデバイスの歩留
　　　まりが低くなっており、この問題の解決のために、針を面外方向にも駆動することが
　　　望まれている。面内および面外の２自由度に駆動する静電アクチュエータについて、
　　　アイデアをMemsONEでのシミュレーションで検証することで、デバイスの設計に役
　　　立てた。MemsONEを用いて、デバイス構造のモデルを組み立てて、弾塑性と電界の
　　　連成解析を行い作製しようとするデバイスの動作を予測した。
　◆事例紹介Ⅱ　（15:40-16:10）
　　「マクロモデル抽出ツールを用いたMEMSデバイスの連成解析」
　　　　　　(株)数理システム　科学技術部　研究員　望月俊輔様
　　　　MemsONEを用いてMEMSと電子回路の連成解析を行う場合は2種類の方法がある。
　　　一つは、MEMS回路シミュレータを用いる方法であり、備え付けのMEMS部品ライブ
　　　ラリを用いてMEMS構造部を作成し、電子回路と共に解析を行う。もう一つは、マク
　　　ロモデル抽出ツールと回路シミュレータを組み合わせた方法である。これは、MEMS
　　　デバイスのFEM/BEM解析モデルがある場合に有効な方法であり、マクロモデル抽出ツ
　　　ールを用いてMEMSデバイスの動作特性を表す回路モデル（マクロモデル）を作成し、
　　　これを回路シミュレータにインポートして解析を行う。本発表では、後者の解析手法
　　　にフォーカスして、その解析原理や事例について述べる。
　◆事例紹介Ⅲ　（16:20-16:50）
　　「新しい圧電素子のMemsONEによる設計と複合部材の熱応力の検討」
　　　　　　東京工芸大学　工学部コンピュータ応用学科　准教授　曽根順治様
　　　　数十ナノメートルの位置決めには、圧電素子が有効である。今回はコストを抑える
　　　ために樹脂を用いた圧電アクチュエータを検討する。圧電アクチュエータには、配線
　　　などが必要となり、精度を向上させてるために、MemsONEの圧電解析機能を用いて
　　　設計検討した。また、一般の製品にも、熱膨張率の大きく異なる部材を用いた製品が
　　　あり、温度上昇を早くかつ低コストにするためには、複数部材の特徴を活かした製品
　　　開発が必要である。しかし、熱膨張率が大きく異なると製品の破壊にもつながるため、
　　　製品の構造を見直すことを検討した。
　◆MemsONE強化機能紹介　（16:50-17:20）
　　「MemsONEの特長およびVer5.0の強化機能紹介と簡易デモ」
　　　　　　日本ユニシス・エクセリューションズ(株)　システムマネージャ　前田幸久様
　　　　　　(株)数理システム　科学技術部　研究員　望月俊輔様
　　　　MemsONEの次期バージョン“Ver5.0”は来年２月にリリースする予定である。
　　　ここでは、MemsONEの特長とリリースに先駆け、Ver5.0のバージョンアップ機能に
　　　ついての説明と簡易デモを行う。

当サイトは、一般財団法人マイクロマシンセンターの成果普及部が運営しています。お問い合わせ、ご連絡等は以下までお願いします。

一般財団法人マイクロマシンセンター「MemsONE問合せ窓口」
〒101-0026　東京都千代田区神田佐久間河岸６７　ＭＢＲ９９ビル６階
　　　　　　　Tel：03‐5835‐1870　　Fax：03‐5835‐1873
　　　　　　　E-mail：mems1-user(at)mmc.or.jp
　　　　　　　　　　　※ (at)は＠に置き換えてください。

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