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 第7回MemsONE技術交流会を下記要領で1月26日(月)に開催しました。本会は、MMCが担当する最終回のため、これまで普及にご尽力いただいた、MEMS-ONEプロジェクトリーダである東京大学・藤田教授、京都大学・小寺教授のご参加と共に、解析事例講演も興味ある普及に繋がるもので、非常に内容のある有意義な会となりました。
 これまで7年間、本会を継続できましたのは、関係各所の方々並びにユーザ様のご支援・ご協力の賜物であり、深く感謝する次第です。
  開催概要
  プログラム
  講演要旨
  開催案内(pdf)
  開催事例
 
< 開催概要 >
 ◆開催日時: 2015年1月26日(月)14:50~17:20~懇親会 (受付:14:30~)
 ◆開催会場: 一般財団法人マイクロマシンセンター MMC新テクノサロン(秋葉原)
         東京都千代田区神田佐久間河岸67
         MMC新テクノサロン →アクセス
 ◆参加対象: MemsONEユーザおよびMemsONEや解析に興味をお持ちの方
 ◆募集人数: 25名 (参加はお申し込み順とします)
 ◆参加費用: 講演・懇親会共無料
 ◆お申込み: 受付終了(1月23日で締め切りました、お申し込み有難う御座いました)
 ◆主  催: 一般財団法人マイクロマシンセンター MemsONEサポートセンター


< プログラム >
      進行:(株)NTTデータ 数理システム 科学技術部 主任研究員 望月 俊輔
 ◆主催者挨拶 (14:50-15:00)
      一般財団法人マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一
 ◆基調講演 (15:00-15:30)
     「 有限要素法の概論と特徴 」
      京都大学大学院 工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 教授 小寺秀俊 様
 ◆解析事例紹介 (15:30-17:10)
  事例Ⅰ「 弾性解析による out of plane 変位機構の検討 」
      東京農工大学大学院 工学研究院 先端機械システム部門 教授 安藤泰久 様
  休 憩 (16:00-16:10)
  事例Ⅱ「 高出力半導体レーザの高放熱構造化のための熱伝導解析事例の紹 」
      東京大学大学院 工学系研究科 精密工学専攻 修士1年 奥村 拳 様
  事例Ⅲ「 圧電解析におけるMemsONEの活用 」
      東京工芸大学大学院
       工学研究科 電子情報工学専攻 博士前期(修士)1年 足立丈宗 様
 ◆閉会挨拶 (17:10-17:20)
      東京大学 生産技術研究所 マイクロナノメカトロニクス国際研究センター
                      センター長・教授 藤田博之 様
 ◆交流会・懇親会 (17:20-18:30)
      場所:一般財団法人マイクロマシンセンター 新テクノサロンA/B(7F)


< 講演要旨 >
 ◆基調講演 (15:00-15:30)
   「 有限要素法の概論と特徴 」
    京都大学大学院 工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 教授 小寺 秀俊 様
   調整中

 ◆解析事例Ⅰ (15:30-16:00)
   「 弾性解析による out of plane 変位機構の検討 」
    東京農工大学大学院 工学研究院 先端機械システム部門 教授 安藤 泰久 様
   SOIウェハ上で、ステージを支えるサスペンションに、基板に対して斜めに配置した
  板ばねを組み込むと、静電アクチュエータでステージを水平方向に引っ張ったときに、
  垂直方向の運動成分が発生する。この機構を利用したデバイスの開発・設計にあたっ
  て、ANSYSやMemsONEを用いた弾性解析を行った。板ばねの角度や構造体を作製す
  るデバイス層の厚さの影響、3次元駆動ステージとしたのきの各軸の干渉、デバイスの
  固有振動数、ミラー構造の最適化などに関する検討などについて紹介する。

 ◆解析事例Ⅱ (16:10-16:40)
   「 高出力半導体レーザの高放熱構造化のための熱伝導解析事例の紹 」
    東京大学大学院 工学系研究科 精密工学専攻 修士1年 奥村 拳 様
   半導体レーザ活性層の温度上昇は、しきい値電流の上昇、量子効率の低下、最大光出
  力の低下、発信波長シフトを招く。また、半導体レーザの劣化速度は、温度上昇により
  指数関数的に上昇する。すなわち、このような高出力レーザでは、発生した熱をいかに
  効率よく放熱させ、活性層の温度上昇を抑えるかが重要となる。本講演では、半導体素
  子とヒートシンク間の接合材料が半導体レーザの熱特性に与える影響を見積もるために
  行ったMemsOneによる有限要素法解析事例を紹介する。

 ◆解析事例Ⅲ (16:40-17:10)
   「 圧電解析におけるMemsONEの活用 」
    東京工芸大学大学院
     工学研究科 電子情報工学専攻 博士前期(修士)1年 足立 丈宗 様
   MEMSにおいても、圧電材料が使われており、ますます活用が望まれている。その
  ため、MemsONEを活用して、微小触覚刺激システムを開発するための設計を行って
  いる。本講演では、3次元圧電解析機能を活用した例を紹介する。


< 開催事例 >
 第4回開催事例(平成23年12月16日開催)
 第5回開催事例(平成24年12月18日開催)
 第6回開催事例(平成26年2月4日開催)

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一般財団法人マイクロマシンセンター「MemsONE問合せ窓口」
〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル6階
       Tel:03‐5835‐1870  Fax:03‐5835‐1873
       E-mail:mems1-user(at)mmc.or.jp
           ※ (at)は@に置き換えてください。
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