技術交流会の開催事例

＝第６回東京MemsONE技術交流会の開催報告＝

　第６回東京「MemsONE技術交流会」を平成26年2月4日(火)に下記の通り開催致しました。ご参加誠に有難う御座いました。当日の予稿集を「サポート情報－⑥セミナー等の講演概要版の掲載」ページで公開しましたので、ご覧ください。

＜開催概要＞

　◆開催日時：2014年2月4日(火)　14:30～17:30～懇親会　（受付：14:00～）
　◆開催会場：一般財団法人マイクロマシンセンター　ＭＭＣ新テクノサロン(東京秋葉原)
　　　　　　　　　東京都千代田区神田佐久間河岸６７
　　　　　　　　　ＭＭＣ新テクノサロン　→アクセス
　◆参加対象：MemsONEユーザおよびMemsONEや解析に興味をお持ちの方
　◆募集人数：25名（参加はお申し込み順とします）
　◆参加費用：講演・懇親会共無料
　◆お申込み：受付終了（1月31日で締め切りました、お申し込み有難う御座いました）
　◆主　　催：一般財団法人マイクロマシンセンター　MemsONEサポートセンター

＜プログラム＞

　◆主催者挨拶　（14:30-14:40）
　　　　　　　　　(財)マイクロマシンセンター　専務理事　青柳桂一
　◆基調講演　（14:40-16:10）
　　　講演Ⅰ　　「ＬＳＩとセンサ・ＭＥＭＳデバイスの集積化による新技術開発」
　　　　　　　　　豊橋技術科学大学　電気・電子工学系　　教授　澤田和明様
　　　講演Ⅱ　　「いつでも、どこでも　～みんなのミニマルファブ～」
　　　　　　　　　(独)産業技術総合研究所　ナノエレ部門
　　　　　　　　　ミニマルシステムグループ　主任研究員　クンプアンソマワン様
　　　講演Ⅲ　　「‘研究開発動向からみたMEMS関連市場予測’に関する一考察」
　　　　　　　　　(財)マイクロマシンセンター　調査研究部　　部長　出井敏夫
　◆休　憩　（16:10-16:20）
　◆解析事例紹介　（16:20-17:20）
　　　事例Ⅰ　　「中性粒子ビームの生成メカニズムのシミュレーション」
　　　　　　　　　みずほ情報総研(株)
　　　　　　　　　サイエンスソリューション部　チーフコンサルタント　　渡辺尚貴様
　　　事例Ⅱ　　「 MEMSpiceを用いたパラメトリック解析」
　　　　　　　　　(株)ＮＴＴデータ数理システム　科学技術部　主任研究員　望月俊輔様
　◆交流会・懇親会　（17:30-19:00）
　　　　　　　　　場所：(財)マイクロマシンセンター　新テクノサロン(7F)・6F会議室

＜講演要旨＞

　◆基調講演Ⅰ　（14:10-15:10）
　　「ＬＳＩとセンサ・ＭＥＭＳデバイスの集積化による新技術開発」
　　　　　　　豊橋技術科学大学　電気・電子工学系　　教授　澤田和明様
　　　集積回路(LSI)技術とMEMS、センサ、バイオチップとの融合による新しいシステム
　　LSIはこれまでにない特徴を生み出し、かつて不可能であった計測を可能にし、新たな
　　分野へと応用を展開しています。我々は、集積回路微細加工技術を駆使し、医療・生体
　　工学分野に適用可能なマイクロチップに関する研究・開発を行ってきました。
　　今回はLSI技術の新たな応用分野への開拓とその研究開発事例をご紹介致します。

　◆基調講演Ⅱ　（15:10-15:40）
　　「いつでも、どこでも　～みんなのミニマルファブ～」
　　　　　　　(独)産業技術総合研究所　ナノエレ部門
　　　　　　　ミニマルシステムグループ　　主任研究員　クンプアンソマワン様
　　　本稿では、クリーンルームの投資が必要ないデバイス生産システム、ミニマルファブ
　　を紹介する。これまでに、フォトリソグラフィー装置群を使用してメガファブの装置と
　　併用し、ハイブリッドと呼ばれているプロセスを行い、MEMSや半導体デバイスの試作
　　を進めた。具体的には、MEMSカンチレバーとMOSFETを試作している。また、クリー
　　ンルームでないところでミニマル装置のみを用いて、トランジスタを作ることができて
　　しまう。実際、展示会場へ全てのミニマル装置を持ち込み、数時間で立上げ、一日でト
　　ランジスタを完成させ、動作させることができた。

　◆基調講演Ⅲ　（15:40-16:10）
　　「‘研究開発動向からみたMEMS関連市場予測’に関する一考察」
　　　　　　　(財)マイクロマシンセンター　調査研究部　　部長　出井敏夫
　　　マイクロマシンセンターでは、設立以来長年にわたり、Transducers、MEMSなどマ
　　イクロマシン及びMEMSに関連する主要な国際学会に着目し、研究開発動向の定点観測
　　を継続的に行ってきた。本講演では、ビッグデータの本格的活用の時代を迎え、これま
　　で当センターが蓄積してきたTransducersの調査データをもとに、研究開発動向からみ
　　たMEMS関連市場の予測を試みる。

　◆解析事例Ⅰ　（16:20-16:50）
　　「中性粒子ビームの生成メカニズムのシミュレーション」
　　　　　　　みずほ情報総研(株)
　　　　　　　サイエンスソリューション部　　チーフコンサルタント　渡辺尚貴様
　　　エッチングに使用されるプラズマを中性粒子に変換して高精度形状でエッチングする
　　中性粒子ビームエッチング装置が東北大学寒川教授により実用化されている。我々は、
　　寒川教授と共同してこの装置でのプラズマが中性粒子に変換される微視的過程を量子力
　　学に基づく電子の確率的移動として数値シミュレーションする技術を開拓した。
　　本講演ではこの数値シミュレーション技術について紹介する。

　◆解析事例Ⅱ　（16:50-17:20）
　　「 MEMSpiceを用いたパラメトリック解析」
　　　　　　　(株)ＮＴＴデータ数理システム　科学技術部　　主任研究員　望月俊輔様
　　　パラメトリック解析は、設計パラメータ値を決定するための手段の一つである。狭義
　　には、設計パラメータ値を振った一連の動作解析を指すが、パラメータに基づく構造モ
　　デリングや仕様を満たすパラメータの自動抽出も課題となる。本講演では、MEMS回路
　　シミュレータ(MEMSpice)を用いたパラメトリック解析に向けた取組みを紹介する。

当サイトは、一般財団法人マイクロマシンセンターの成果普及部が運営しています。お問い合わせ、ご連絡等は以下までお願いします。

一般財団法人マイクロマシンセンター「MemsONE問合せ窓口」
〒101-0026　東京都千代田区神田佐久間河岸６７　ＭＢＲ９９ビル６階
　　　　　　Tel：03‐5835‐1870　　Fax：03‐5835‐1873
　　　　　　E-mail：mems1-user(at)mmc.or.jp
　　　　　　　　　　※ (at)は＠に置き換えてください。

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