［MemsONEの特長］
＜業務上期待される効果＞
MemsONEは、MEMS製作の業務上次のような大きな効果をもたらすシステムを目標に開発してきました。
○MEMSプロセスに精通していない技術者であっても、機構設計、プロセスシミュレーション、マスク設計が簡便迅速におこなうことができるようになります。
○ファンドリー事業者ごとの信頼性の高い材料・プロセスのデータベースを内蔵しているため機構設計、プロセスシミュレーションを精度良く実行することができます。
○解析精度の向上を達成しプロトタイプの試作回数を低減することができます。
＜システム面での優れた特長＞
MemsONEは、導入に伴う大きな効果を具現化するように、システム面でいろいろの創意工夫がなされています。
○さまざまな解析ツール、高機能ソフト、知識・ノウハウが用意されていて、これらの広範な機能モジュールが一体的に連動してパソコンから利用できようになっています。
○さらには、実際ファンドリーメーカーの製造プロセスから取得する材料・プロセスデータベースも内蔵されています。多くの既存システムは、このようなデータは個人で用意するようになっています。
○対象とするデバイス・プロセスに対応したプロセスレシピが用意され、さらに連成解析やマルチプロセス解析が可能となりますので、設計・解析作業の簡便性や迅速性が大幅に向上します。
○世界初の高機能ソフトを含んでいます（具体的には以下の解析ツール）。
・プロセス逆問題解析ソフト（最終形状からマスクデータを生成する）
・接合実装解析ソフト（接合の力学的信頼性、温度変化に対する応答を解析）
○新たなMEMS（流体MEMSなど）の解析モジュール等の外部ソフト・外部データベースのプラグイン機能や個別データに基づくカスタマイズ機能をもたせるため、インターフェイス部分をオープンにします。このため、MemsONEをベースにして各人がシステムを拡張することができます。
○各種主要解析ソフト（MEMS用も含む）との入出力データコンバータおよび主要CADソフトとのデータコンバータを有していますので、今までのソフトとの併用や、MemsONEへの乗り換えが容易に可能となります。
○MEMS設計・製作に特有な知識・ノウハウを体系化した知識データベース（代表的デバイス・プロセス等の例示を含む）を内蔵していますので、MEMS製造における利便性が大きく向上します。
＜普及面での特長＞
このような優れた特長を有するMemsONEを、国内に広く普及させるため、以下のような対応を目指しています。
○システムの導入価格は、MEMSの初心者にも利用しやすいように適切な水準に設定します。
○ユーザー要望を反映して迅速にシステムの更新を図っていきます。
○材料DB／知識DBについても、産学官の連携により最新情報を提供します。
○大学研究者、ソフトベンダー等のサードパーティによるプラグインソフト（外部ソフト）の利用も可能にします。
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